
PSA -zuurstofgenerator voor halfgeleider
Beschrijving
Technische Parameters
Waarom heeft de halfgeleiderindustrie PSA -zuurstofgeneratoren nodig?
Hoge zuivere gastoevoer:De productie van halfgeleiders heeft een strikte vereisten voor gaszuiverheid, en zuurstof met een hoge zuiverheid is onmisbaar voor lithografie, reiniging en andere links. Met behulp van drukzwaaiadsorptietechnologie produceert de PSA -zuurstofgenerator zuurstof met een zuiverheid van 95%± 3%, dat voldoet aan de vereisten van oxidelaagvorming en wafelsreiniging, en vermijdt het risico op onzuiverheidsverontreiniging van de traditionele zuurstof van de gascilinder zuurstoftoevoer.
Zorg voor processtabiliteit:Semiconductor -productielijnen vereisen een continue en stabiele gastoevoer. PSA Oxygen Generator gebruikt dubbele adsorptietorens om afwisselend te werken, en via PLC Intelligente controle kan het 24- uur ononderbroken zuurstoftoevoer bereiken, productieonderbrekingen veroorzaakt door handmatige flesvervanging en zich aanpassen aan processen die gevoelig zijn voor luchtdruk zoals dunne filmafzetting en etsen.
De kosten verlagen en de ruimte optimaliseren:Vergeleken met vloeibare zuurstofopslagtanks en hogedrukgascilinders produceren PSA-zuurstofgeneratoren op locatie zuurstof, waardoor de transport- en opslagkosten sterk worden verlaagd. Het heeft een kleine voetafdruk en ondersteunt modulaire expansie, die voldoet aan de behoeften van het maximaliseren van ruimtegebruik in schone workshops van halfgeleiderfabrieken. De gebruikskosten op lange termijn zijn ongeveer 20% lager dan de traditionele methode.
Aanpassen aan speciale processen:In geavanceerde processen vereisen sommige speciale processen nauwkeurige controle van de zuurstofconcentratie. De PSA -zuurstofgenerator kan de zuurstofuitgangszuiverheid flexibel aanpassen (95%-99. 9%) door de adsorptiedruk en moleculaire zeefverhouding aan te passen om te voldoen aan de speciale procesvereisten van de productie van 3D NAND flash -geheugen.
Milieuvriendelijk en gemakkelijk te onderhouden:PSA -technologie vereist geen chemische reagentia en het zuurstofproductieproces stoot geen schadelijke stoffen uit, die voldoen aan de normen voor milieubescherming van de halfgeleiderindustrie. De apparatuur maakt gebruik van voedselkwaliteit roestvrijstalen en zelfreinigende moleculaire zeven, met een onderhoudscyclus van maximaal 3-5 jaar, en is geschikt voor de productie van wafels voor de hoogbegeleefelijkheid.

| categorie | Parameterdetails |
| Zuurstofzuiverheid | 93% -99. 5% (ULPA -filtratiesysteem kan worden aangepast, onzuiverheidsinhoud kleiner dan of gelijk aan 1PPB) |
| Outputdruk | 0. 5-1. 5mpa (instelbaar, aangepast aan de luchtinlaatstandaard van halfgeleiderapparatuur) |
| Stroombereik | 10-5000 nm³/h (ondersteunt parallelle uitbreiding van meerdere eenheden) |
| Dauwpunt | Minder dan of gelijk aan -70 graad (om te voorkomen dat waterdamp de procesomgeving vervuilt) |
| Energie -efficiëntie | Minder dan of gelijk aan 0. 38kWh/nm³ (zeer efficiënte variabele frequentieaandrijving, energiebesparende meer dan 30%) |
| Geluidsniveau | Minder dan of gelijk aan 65 dB (lage trillingsstructuur + geluiddichte schaal, in lijn met klasse 1000 Clean Room -normen) |
De kernvoordelen van PSA -zuurstofgenerator

Ultrahoge zuiverheidsgarantie
Moleculaire zeefbed en katalytische oxidatie-eenheid met dubbele laag worden gebruikt om onzuiverheden zoals koolwaterstoffen en co₂ diep te verwijderen, en de zuurstofzuiverheid bereikt meer dan 99,5%, die voldoet aan de SEMI F20-standaard. Ingebouwde realtime online analysator, gegevenssynchronisatie met het fabrieks-SCADA-systeem om processtabiliteit te waarborgen.
Intelligent controle en redundant ontwerp
Geïntegreerd PLC+HMI-besturingssysteem, ondersteunt monitoring op afstand, fout zelfdiagnose en noodschakelen (dubbele toren redundante adsorptie). Automatische drukcompensatietechnologie om het hoofd te bieden aan de momentane hoge stroomvraag van halfgeleiderapparatuur.
Koolstofarme energiebesparende oplossing
VPSA (vacuümdruk swing adsorptie) Synergetische technologie vermindert het energieverbruik, waardoor 15% -20% energie wordt bespaard in vergelijking met traditionele PSA.Optional afvalwarmteverstelmodule om de warmtelasting van de workshop te verminderen.
Clean Room compatibiliteit
Alle roestvrijstalen stroomkanaal + nano -coating om metaalionverontreiniging te voorkomen; Zero lekkage afdichtingsontwerp, gepasseerde ISO 8573-1 klasse 0 certificering.
PSA -zuurstofplanttypen

Modulaire apparatuur

Twin Tower -apparatuur

Containerapparatuur
| NTK95 -serie PSA Oxygen Generator Selectie | ||||||
| Nee. | Modellen | Capaciteit (NM3/HR) |
Zuiverheid | Stroomverbruik van 1nm3 geproduceerde zuurstof (kW/h) |
Aantal flessen fleld in 12 uur (pc's) |
Operator nodig |
| 1 | Ntk 95-5 p | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | Ntk 95-10 p | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | Ntk 95-15 p | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | Ntk 95-20 p | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | Ntk 95-25 p | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | Ntk 95-30 p | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | Ntk 95-40 p | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | Ntk 95-50 p | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | Ntk 95-60 p | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | Ntk 95-80 p | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | Ntk 95-100 p | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
FAQ
1. Hoe hoog kan de zuurstofzuiverheid zijn en voldoet het aan de vereisten van de productie van halfgeleiders?
Onze PSA -zuurstofgenerator voor halfgeleiders kan routinematig zuurstof produceren met een zuiverheid van 95%± 3%. Voor sommige processen die een extreem hoge zuurstofzuiverheid vereisen, kan de zuurstofuitgangszuiverheid door de apparatuurparameters te aanpassen, flexibel worden gecontroleerd binnen het bereik van 95% - 99. 9%, volledig voldeden aan de strenge vereisten voor gaszuiverheid in kernverbindingen zoals halfgeleiderlithografie, reiniging en oxidatie.
2. Hoe stabiel is de apparatuur en kan het zorgen voor de continue werking van de productielijn van de halfgeleider?
De apparatuur hanteert een dubbele adsorptietoren afwisselende werkmodus, gecombineerd met een PLC intelligent besturingssysteem, om 24- uur ononderbroken en stabiele zuurstoftoevoer te bereiken. Deze geautomatiseerde bedieningsmodus vermijdt onderbrekingen op gasvoorziening veroorzaakt door handmatige flesvervanging, biedt betrouwbare en stabiele gasvoorziening voor processen zoals dunne filmafzetting en etsen die gevoelig zijn voor luchtdruk en vermindert effectief het risico op productie -onderbrekingen veroorzaakt door problemen met de gasvoorziening.
3. Wat zijn de kosten van gebruik in vergelijking met traditionele zuurstoftoevoermethoden?
In vergelijking met vloeibare zuurstofopslagtanks of hogedrukgascilinders hanteert onze PSA-zuurstofgenerator een on-site zuurstofproductiemodus, die zuurstoftransport en opslagkosten aanzienlijk bespaart. De apparatuur bezet een klein gebied en kan modulair worden uitgebreid, waardoor de huurkosten van de site worden verlaagd. Op de lange termijn zijn de kosten ongeveer 20% lager dan de traditionele zuurstoftoevoermethode, die de bedrijfskosten aanzienlijk bespaart.
4. Is het onderhoud van de apparatuur ingewikkeld? Hoe lang is de onderhoudscyclus?
De apparatuur is gemakkelijk te onderhouden, met behulp van roestvrij staal en zelfreinigende moleculaire zeven, wat de onderhoudswerklast aanzienlijk vermindert. Onder normale omstandigheden is de onderhoudscyclus zo lang als 3-5 jaar, en we zijn uitgerust met een professioneel after-sales-team om op elk gewenst moment technische ondersteuning te bieden om u te helpen problemen op te lossen tijdens de werking van de apparatuur.
Handel nu om uw zuurstoftoevoerketen te beveiligen
✅ Aangepaste oplossingen:
Vertel ons uw bedcapaciteit en piekvraag naar een op maat gemaakt voorstel.
✅ Snelle levering:
Vooraf ontworpen modules verzonden in 8-12 weken.
✅ Financieringsopties:
Lease-to-own plannen beschikbaar.
Telefoonnummer
+86 15888864725
Whatsapp -nummer
+86 15888864725
sales@newtek-group.com

Populaire tags: PSA -zuurstofgenerator voor halfgeleider, China PSA -zuurstofgenerator voor halfgeleider, leveranciers, fabriek
Volgende
Medische zuurstofgeneratorAanvraag sturen
Neem contact op
Schrijf uw bericht














